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中瑞祥電阻真空計(jì)ZDZ-52T 校準(zhǔn)方法
瀏覽次數(shù):3218發(fā)布日期:2022-10-20

電阻真空計(jì)即采用電阻術(shù)的真空計(jì),般校準(zhǔn)零點(diǎn),再行滿度校準(zhǔn)。

  

  原理

  Pirani皮拉尼真空計(jì)構(gòu)如圖所示。金屬圓筒內(nèi)設(shè)有白金細(xì)線,兩端連接電。通過(guò)電給白金細(xì)線提供電流時(shí),白金細(xì)線會(huì)發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過(guò)固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會(huì)被奪走。單位時(shí)間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時(shí)以下公式成立

  Q = I2R = Qg Qr Qs (1)

  Q是單位時(shí)間細(xì)線放出的熱量,R是細(xì)線的電阻,I是細(xì)線的電流。

  氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時(shí),Qg通過(guò)自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為

  Qg = αΛπda(T-T0)p (2)

  如圖所示,T和T0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細(xì)線長(zhǎng)度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

  Qs = Sκ(T-T0)/L (3)

  Qr = πdaσε(T4-T04) (4)

  (3)是電的熱傳導(dǎo),其中S是細(xì)線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,L是電的長(zhǎng)度。

  (4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0定,則(3)和(4)式為常數(shù)。如果用I02R表示定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為

  I2R = Ap I02R (5)

  A = αΛπda(T-T0) (6)

  I0是壓力為0的時(shí)候細(xì)線的電流, 是彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來(lái)的熱量損失。A式是不依存壓力的定數(shù)如果已知細(xì)線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過(guò)(5)式求得壓力P。

  電阻真空計(jì)的

  校準(zhǔn)

  般校準(zhǔn)零點(diǎn),再行滿度校準(zhǔn)。

  (1)校準(zhǔn)零點(diǎn)。校準(zhǔn)零點(diǎn)需對(duì)被測(cè)真空系統(tǒng)抽真空,旦電離規(guī)測(cè)得真空度于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa),按"校零"按鈕,對(duì)應(yīng)示燈亮或快速閃爍,真空計(jì)自動(dòng)校正零點(diǎn),當(dāng)顯示1.0^-1Pa時(shí),表示規(guī)管零點(diǎn)已校準(zhǔn)。對(duì)于無(wú)自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)的電阻真空計(jì),可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。

  (2)滿度校正。校準(zhǔn)零點(diǎn)后,需對(duì)其滿度校正。按滿度校正過(guò)程要求,對(duì)被測(cè)爐腔放人大氣,確保被校電阻規(guī)所測(cè)位置為大氣狀態(tài),在大氣壓下作約10分鐘。按"滿度"按鈕,對(duì)應(yīng)示燈亮或快速閃爍,真空計(jì)自動(dòng)校正滿度,當(dāng)顯示1.0^5 Pa時(shí),表示規(guī)管滿度已校準(zhǔn)。對(duì)于無(wú)自動(dòng)滿度校準(zhǔn)的電阻真空計(jì),可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。

  


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